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離子束鍍膜機6英寸真空鍍膜機離子束濺射-IBSD， 6英寸北京埃德萬斯離子束技術研究所股份有限公司原名為北京埃德萬斯離子束技術研究所，成立于2001年，自主獨立設計了離子束刻蝕設備和雙離子束
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