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液相外延爐設(shè)備

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認(rèn)證資料 Certification Data

青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司

  • 聯(lián)系人:張瑞禮
  • 官網(wǎng)地址:www.sunred.cn
  • 經(jīng)營模式:其他機(jī)構(gòu)
  • 主營產(chǎn)品:臥式擴(kuò)散爐制造,管式PECVD銷售,立式氧化擴(kuò)散爐,石墨烯設(shè)備制造,LEC單晶爐
  • 所在地:山東省#山東省青島市高新區(qū)華東路826號(hào)(華東路與錦匯路交界處)
  • 供應(yīng)產(chǎn)品:24
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產(chǎn)品詳情

Product details

 LPE液相外延爐采用進(jìn)口穩(wěn)定可靠的智能儀表,能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)工藝過程的自動(dòng)控溫。以進(jìn)口直線電機(jī)為主體,系統(tǒng)定位且無抖動(dòng),加速度大能快速啟動(dòng),可快速精準(zhǔn)的將生長材料移動(dòng)至下一個(gè)生長點(diǎn)。

    本設(shè)備采用“黃金”爐體加熱,能夠快速升溫,恒溫,降溫。“黃金”爐體主體由石英管、電阻絲及剛玉組成,潔凈度高,適合于IC、電子器件的快速退火、液相外延等工藝。系統(tǒng)配有真空系統(tǒng),極限真空度1Pa。本底真空時(shí)間視工藝管路??膳渲肏2、N2、O2等工藝氣體,帶有自動(dòng)連鎖, 危險(xiǎn)氣體檢測(cè)及尾氣燃燒裝置。

聯(lián)系方式

Contact Us
  • 聯(lián)系人姓名:張瑞禮
  • 聯(lián)系人職位:銷售總監(jiān)
  • 聯(lián)系人手機(jī):18660296696
  • 企業(yè)電話:0532-87666580
  • 詳細(xì)地址:山東省#山東省青島市高新區(qū)華東路826號(hào)(華東路與錦匯路交界處)
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